當今微電子薄膜，光學薄膜，抗氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導薄膜等在工業(ye) 生產(chan) 和人類生活中的不斷應用，在工業(ye) 生產(chan) 的薄膜，其厚度是一個(ge) 非常重要的參數，直接關(guan) 係到該薄膜材料能否正常工作。如大規模集成電路的生產(chan) 工藝中的各種薄膜，由於(yu) 電路集成程度的不斷提高，薄膜厚度的任何微小變化，對集成電路的性能都會(hui) 產(chan) 生直接的影響。除此之外，薄膜材料的力學性能，透光性能，磁性能，熱導率，表麵結構等都與(yu) 厚度有著密切的聯係。那如何檢測薄膜的厚度呢，本篇文章hth官网登录入口問您提供方案。
試樣製備：
在距樣品縱向端部大約1 m處,沿橫向整個(ge) 寬度截取試樣,試樣寬100 mm。除為(wei) 提交或包裝而折疊樣品,試樣應無折皺,也不應有其他缺陷。
選擇儀(yi) 器：
PTT-03A薄膜測厚儀(yi)
測試步驟：
1.試樣在(23士2)C條件下狀態調節至少1 h,對濕敏薄膜﹐狀態調節時間和環境應按被測材料的規範,或按供需雙方協商確定。
2.試樣和測量儀(yi) 的各測量麵(2.1)無油汙、灰塵等汙染。
3. 測量前檢查測量儀(yi) 零點,在每組試樣測量後應重新檢查其零點。
4.測量時應平緩放下測頭,避免試樣變形。
按等分試樣長度的方法以確定測量厚度的位置點,方法如下:
a)試樣長度≤300 mm ,測10點﹔
b)試樣長度在300 mm 至 1 500 mm之間,測20點;
c)試樣長度≥1 500 mm,至少測30點。
對未裁邊的樣品,應在距邊50 mm開始測量。
